"Качество и жизнь" № 2(34) 2022 c. 8-10

С.С. Анцыферов, д.т.н., профессор кафедры метрологии и стандартизации Института перспективных технологий  и индустриального программирования МИРЭА – Российского технологического университета; Москва   
 
В.Г. Маслов, старший преподаватель кафедры метрологии и стандартизации Института перспективных технологий и индустриального программирования МИРЭА – Российского технологического университета; Москва   
 
К.Н. Фазилова, ассистент кафедры метрологии и стандартизации Института перспективных технологий  и индустриального программирования МИРЭА – Российского технологического университета; Москва 

e-mail: fazilova@mirea.ru

 

В статье проведена практическая оценка эффективности ранее предложенного метода магнетронного напыления. Подтверждена целесообразность его применения для подготовки неоднородных мер высоты в целях повышения качества калибровки эталонных мер нанометрии.  

 
Ключевые слова: калибровка эталонных мер нанометрии, магнетронное напыление, измерение высоты, контроль функционирования. 
 
Литература:
1. Antsyferov S.S., Fazilova K.N., Rusanov K.E. Method for controlling the cognitive systems functioning in non-equilibrium stability mode // Journal of Physics: Conference Series. – 2020. – V. 1679. –  Issue 3. – P. 032068.
2. Antsyferov S.S., Karabanov D.A., Fazilova K.N., Rusanov K.E. Reference gage calibration methods of probe nanometry systems // Journal of Physics: Conference Series. – 2021. –V. 1889. – Issue 4. – P. 042034.

DOI: 10.34214/2312-5209-2022-34-2-08-10